羅茨真空泵（簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵）是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來(lái)的。根據羅茨真空泵工作范圍的不同，又分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵（又稱(chēng)機械增壓泵）和高真空多級羅茨泵。一般來(lái)說(shuō)，羅茨泵具有以下特點(diǎn)：

• 在較寬的壓強范圍內有較大的抽速；
• 起動(dòng)快，能立即工作；
• 對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感；
• 轉子不必潤滑，泵腔內無(wú)油；
• 振動(dòng)小，轉子動(dòng)平衡條件較好，沒(méi)有排氣閥；
• 驅動(dòng)功率小，機械摩擦損失��；
• 結構緊湊，占地面積��；
• 運轉維護費用低。

因此，羅茨泵在冶金、石油化工、造紙、食品、電子工業(yè)部門(mén)得到廣泛的應用。

羅茨泵的工作原理：

羅茨泵的結構如圖所示。在泵腔內，有二個(gè)“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動(dòng)比為1的一對齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉運動(dòng)。在轉子之間，轉子與泵殼內壁之間，保持有一定的間隙，可以實(shí)現高轉速運行。由于羅茨泵是一種無(wú)內壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v₀內，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v₀空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內氣體沒(méi)有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過(guò)排氣口邊緣，v₀空間與排氣側相通時(shí)，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v₀中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。

如圖為羅茨泵轉子由0°轉到180°的抽氣過(guò)程。在0°位置時(shí)（圖中a），下轉子從泵入口封入v₀體積的氣體。當轉到45°位置時(shí)（圖中b），該腔與排氣口相通。由于排氣側壓強較高，引起一部分氣體返沖過(guò)來(lái)。當轉到90°位置時(shí)（圖中c），下轉子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí)，上轉子也從泵入口封入v₀體積的氣體。當轉子繼續轉到135°時(shí)（圖中d），上轉子封入的氣體與排氣口相通，重復上述過(guò)程。180°（圖e）位置和0°位置是一樣的。轉子主軸旋轉一周共排出四個(gè)v₀體積的氣體。

羅茨真空泵的大優(yōu)點(diǎn)是在較低的入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，必須有一臺前級真空泵串聯(lián)，待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí)，羅茨真空泵才能開(kāi)始工作，并且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差工作，否則將會(huì )過(guò)載和過(guò)熱而損壞，因此使用羅茨真空泵必須合理地選用前級真空泵，安裝必要的保護設備。
     前級真空泵一般可選擇油封機械泵或液環(huán)真空泵，特別在抽除有大量水蒸汽的氣體時(shí)，選用水環(huán)真空泵作為前級泵是很理想的。